微型真空泵的类型
　　气体输送泵是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵。它含有变容式和动量传输式两大类。
　　变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气、压缩和排气的装置 。
　　动量传输式真空泵是利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体，使之吸入、压缩、排气的一种真空泵。
　　气体捕集泵是一种将气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。
　　微型真空泵的选型原则：
　　1、选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。例如，工艺过程中产生的是水蒸气，选用的真空泵必须能抽水蒸气。
　　2、选用主泵的极限真空度，必须高于被抽容器要求的真空度，至少要高一个数量级，并且能在要求的工作真空度范围内正常工作。
　　3、选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的最大放气量。如果在主泵前有冷阱或档板，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，主泵的有效抽速还要适当加大，通常加大到最大放气量的2~3倍。
　　4、选用的微型真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。在抽出具有腐蚀性气体时，应采取防腐措施。抽出带有灰尘或颗粒的气体时，要在主泵前加除尘器或过滤器。
　　5、对于连续生产的工艺，所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。必要时，最好加一套自动更换的备用真空泵。如果工艺过程中放气量越来越小，可以备用抽气量较小的真空泵，作为维持泵，以实现节能降耗。
　　6、如果有一种以上的真空泵能满足同一种工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。
　　微型真空泵的主要性能如下：
　　1、极限压力：将微型真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续地抽气，当容器内的气体压力不在下降，而维持某一定值时，此压力即为泵的极限压力，其单位用Pa表示。
　　2、流量：在微型真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。
　　3、抽气速率：在微型真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽速。
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